2010 年 13 巻 7 号 p. 536-542
高強度と耐イオンマイグレーション性を有する銅–銅接合を得るために,3種類の銅ナノ粒子(平均粒子径:d=7.2 nm, 64.8 nm, 498 nm)および銀–銅混合ナノ粒子を用いた低温接合プロセス(250℃~400℃)を検討した。銅ナノ粒子を用いた接合では,平均粒子径64.8 nmの銅ナノ粒子を用いた場合に最も高い強度を示した。銅ナノ粒子(d=498 nm)と銀ナノ粒子(d=7.9 nm)の銀–銅混合ナノ粒子の場合には,50%Ag–50%Cuの配合比において最も高い接合強度が得られた。50%Ag–50%Cu混合ナノ粒子を用いた焼成電極は,銀ナノ粒子の焼成電極よりも優れた耐イオンマイグレーション性を示した。