静電容量型センサを用いた微細プリント配線板の欠陥検査システムに関する研究　─第2報　プローブ走査による非接触イメージング─

抄録

本論文では，プリント配線板パターンを検査するため静電容量プローブを用いてプリント配線パターンの非接触画像化を試みた。
そこで，5 μmの精度を持つ3軸位置決め装置の開発を行い，プリント配線板表面に沿って静電容量プローブを移動させる方法でプリント配線板表面の静電容量変化を画像にする仕組みを構築した。この結果，非接触状態での検出で幅200 μm幅のパターンの画像化が可能となった。これにより本方式によるプリント配線板パターンの検査の基礎的な可能性を確認することができた。