エレクトロニクス実装学会誌
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穴埋めめっきに用いるCuめっき添加剤のメカニズム第3報―開口寸法の影響
近藤 和夫田中 善之助岡村 拓治
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2003 年 6 巻 2 号 p. 136-139

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抄録

トレンチ底部からのあっき析出促進効果について, トレンチの破面観察およびトレンチ底部のみに電極を有するパターン電極を用いた電流電位測定を行い解析した。破面観察よりSPS (Bis (3-sulfopropyl) disulfide) はトレンチ底部からのめっき析出を促進する効果があることが明らかとなった。この促進効果は時間とともに急激に増大する時間依存性がある。開口寸法を変化させたパターン電極を作製した。このパターン電極を用いた電流電位測定では, 添加剤SPSが存在する場合, 開口寸法が狭いと電流密度が大きく増加する。この増大はSPSと関連しためっき析出促進物質のトレンチ内部での蓄積に起因すると考えられる。

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© 一般社団法人エレクトロニクス実装学会
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