エレクトロニクス実装学会誌
Online ISSN : 1884-121X
Print ISSN : 1343-9677
Built-in Mask方法による3次元光回路用マイクロミラー付きフィルム導波路
井ノ口 誠子森谷 聡史山本 孝新井 享彦吉村 徹三浅間 邦彦
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2005 年 8 巻 3 号 p. 237-242

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抄録

高速光配線・大規模光スイッチングシステムの実現には, フィルム導波路を積層した3次元光回路が有望である。本研究では, フィルム間垂直方向光配線 (Optical Z-Connection) に必要なマイクロミラー付きフィルム導波路の作製プロセス「Builtin Mask方法」を提案した。導波路コアパターンマスク付き透明基板上に感光性導波路材料をコーティングし, 種々の角度で露光して固化することにより, 導波路コアやミラーを高密度一括形成できる。はく離層を介在させることで繰り返し複製ができ量産性に富む。露光方法の検討により, 4~64μm幅のコアと, 面外反射マイクロミラーとして機能する傾斜コア端面の形成に成功した。

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© 一般社団法人エレクトロニクス実装学会
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