日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275
β-SiC単結晶薄膜のCVD成長 : 気相成長
鈴木 彰, 古川 勝紀, 東垣 良之, 原田 茂夫, 中島 重夫, 猪口 敏夫
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1983 年 10 巻 1 号 p. 31-

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© 1983 日本結晶成長学会
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