日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275
27aA1 二重ルツボを用いたCMCZ法によるSi単結晶成長(バルク結晶成長シンポジウムI)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)
新井 義明, 喜田 道夫, 小野 直樹, 安部 啓成, 佐平 健彰, 降屋 久, 新行内 隆之
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1993 年 20 巻 2 号 p. 61-

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© 1993 日本結晶成長学会
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