日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275
CVD法により形成したTiSi_2膜とSi基板との界面における形態安定性 : 気相成長I
大下 祥雄渡部 宏治
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1998 年 25 巻 3 号 p. A20-

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© 1998 日本結晶成長学会
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