日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275
高重量Si単結晶保持部の高温引張試験 : バルク成長I
山岸 浩利蔵本 誠白石 裕町田 倫久高野 清隆高瀬 伸光飯田 哲広松原 順一
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2000 年 27 巻 1 号 p. 1-

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抄録

Tensile test of Si subsidiary cone was investigated up to 1073 K The temperature of Si subsidiary cone at certain crystal weight up to 400 kg during CZ crystal growth was also calculated by global heat transfer numerical simulation. We obtained that we can sustain a CZ growing Si crystal up to 400 kg by a safety factor of 2.

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© 2000 日本結晶成長学会
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