日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
Print ISSN : 0385-6275
ISSN-L : 0385-6275
多結晶シリコン膜構造における不純物ガスの影響 : VPEとホイスカー
松村 禎夫, 鷲塚 章一
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1976 年 3 巻 3 号 p. 42-

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© 1976 日本結晶成長学会
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