日本結晶成長学会誌
Online ISSN : 2187-8366
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01aC04 三次元非定常融液対流を考慮した酸化物単結晶育成CZ炉の総合熱解析(結晶成長基礎(1),第36回結晶成長国内会議)
敬 成君塚田 隆夫水戸 光将横山 千昭小林 正樹
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2006 年 33 巻 4 号 p. 215-

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抄録

A global analysis of heat transfer in the Czochralski furnace of oxide crystal growth taking into account three-dimensional unsteady melt flow was developed. Several cases by using the new approach were carried out to investigate the effects of the optical thickness and crystal rotation Reynolds number on the shape of crystal/melt interface.

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© 2006 日本結晶成長学会
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