日本結晶成長学会誌
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シリコンナノ結晶のCVD成長と新機能(<特集>ナノ結晶の成長と新機能)
小田 俊理
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2011 年 37 巻 4 号 p. 297-303

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抄録

シリコンナノ結晶は,ナノスケールに特有な量子効果や帯電効果のため,高効率可視光発光,バリスティック電子伝導,クーロンブロッケードなどバルクシリコンにはない新機能を持ち,発光素子,単電子素子,メモリ素子,量子ドット太陽電池などへの応用が期待される.VHFプラズマセルCVD技術を用いると,10nm以下の粒径の揃ったナノ結晶を効率的に形成することができる.ガスパルス導入による粒径制御技術,表面酸化や表面修飾による表面トンネルバリア層制御技術,粒子分散溶液(ナノシリコンインク)を用いた高集積粒子配列技術などのシリコンナノ結晶製造技術について説明した後に,単電子トランジスタ,浮遊ゲート不揮発性メモリ,擬直接遷移型可視光発光,バリスティック電子放出などの新機能について解説する.

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© 2011 日本結晶成長学会
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