表面処理したシリカの粉粒体の物性, すなわち, 密度, 比表面積および粒子径を表面処理状態の判定試料として用いることを考案し, その有効性について検討を行った. すなわち, γ-Methacryloxypropyltrimethoxysilane (γ-MPTS), Vinyltrimethoxysilane (VTMS)およびVinyltrichlorosilane (VCLS)の3種類の表面処理剤で液相法によって表面処理を行い, 遠心分離法で分離したシリカを用いて粉粒体の物性について検討を行った. さらに, 表面処理したシリカに対して, Tetrahydrofuran(THF)による洗浄および加熱処理などの表面処理に伴う処理を行って, これらが粉粒体の物性に及ぼす影響について検討を行った. その結果, 表面処理されたシリカの表面処理状態を示すパラメーターとして, 粉粒体の物性のうち, 密度および比表面積は感度が高く, 処理剤濃度の増加に伴う総付着量の変化, 洗浄処理による付着量の減少あるいは吸着状態の変化および加熱処理による吸着状態の変化を比較的鋭敏に反映したが, 粒子径は本研究の範囲内では感度が低く物性の変動量が少ないことが判明した.