精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
はじめての精密工学
光回折・散乱を利用した加工表面計測
高谷 裕浩
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2007 年 73 巻 12 号 p. 1308-1311

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