マイクロ・ナノ技術によるMEMSのビジネス化を目指して

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
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グラビアとインタビュー　精密工学の最前線

マイクロ・ナノ技術によるMEMSのビジネス化を目指して

前田龍太郎, 臼田孝

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ジャーナルフリー

2009 年 75 巻 10 号 p. 1149-1152

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.75.1149

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© 2009 公益社団法人精密工学会

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