精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
受賞業績解説
超音波振動援用ダイシングソーの開発と電子デバイス部品加工への応用
邱 暁明, 熊谷 壮祐, 田篠 文照, 小澤 成俊
著者情報
キーワード: ultrasonic vibration, dicing process, diamond blade, difficult-to-machine material, electronic devices
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76 巻 (2010) 6 号 p. 606-609

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.76.606
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