LED用サファイヤ単結晶基板の超精密CMP加工技術とそのPSS加工プロセスへの応用

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

解説

LED用サファイヤ単結晶基板の超精密CMP加工技術とそのPSS加工プロセスへの応用

會田英雄, 青田奈津子, 木村豊, 川又友喜, 小山浩司, 山崎努, 土肥俊郎

著者情報

キーワード: sapphire substrate, LED, CMP, PSS

ジャーナルフリー

2012 年 78 巻 11 号 p. 932-936

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.78.932

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2012 公益社団法人精密工学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

前身誌

精密工学会誌論文集

Top