精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
展望
【MEMS商業化技術専門委員会】マイクロ・ナノ技術によるN-MEMSのビジネス化を目指して
伊藤 寿浩
著者情報
キーワード: MEMS, Micro/Nano technology, wireless sensor nodes, MEMS foundry, piezoelectric MEMS
ジャーナル フリー

2014 年 80 巻 10 号 p. 897-900

詳細
PDFをダウンロード (1597K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2014 公益社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
前身誌

精密機械

精密工学会誌論文集

このページを共有する
feedback
 Top