精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
解説
ワイヤ放電加工技術による半導体材料のマルチスライシング
岡本 康寛, 岡田 晃
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キーワード: multi-slicing, wire EDM, multi-wire, semiconductor, electrical discharge machining
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2017 年 83 巻 9 号 p. 825-828

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