精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
解説
難加工次世代単結晶のための次世代型CMP加工技術
―プラズマ/CMP同時融合加工の実用化に向けて―
會田 英雄, 武田 秀俊, 宮下 忠一, 鍛治倉 惇, 土肥 俊郎
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キーワード: chemical mechanical polishing (CMP), plasma CMP, silicon carbide, gallium nitride, diamond
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2022 年 88 巻 6 号 p. 435-439

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