電界砥粒制御技術を用いた表面創成

精密工学会誌

Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289

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電界砥粒制御技術を用いた表面創成

久住孝幸

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キーワード: free abrasives, AC electric field, slurry, polishing, lapping, slicing

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2023 年 89 巻 5 号 p. 377-381

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.89.377

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