光干渉計測法の最近の進歩

抄録

光干渉法の動向と新しいしま解析技術について述べた.干渉計測法は光計測法のなかでも古典的で最も普遍的な技術である.しかし,本稿で述べたように,現在でも進歩は著しく,(1)新しい対象への挑戦と,(2)測定精度向上への努力は続けられている.
特殊な干渉計測法であるホログラフィやスペックル干渉法については紙数の都合で割愛せざるをえなかった.これらの干渉技術に対しても,5章で述べた各種高精度干渉法の導入が試みられているのである.