ダイヤモンドセンサのマイクロラッピング
1985 年 51 巻 9 号 p. 1684-1688
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1985 年 51 巻 9 号 p. 1684-1688
VHD方式ダイヤモンドセ/サの先端しゅう動面の精密ラッピング技術, ならびにこの技術を応用した多数本のスタイラスを同時に研磨するダイヤモンドセンサラッピングシステムについて述べてきた.
このシステムの特徴として,
(1) ダイヤモンドの特性に基づくラッピング方法 (2) ダイヤモンドセンサのラッピング特性に基づく加工時間制御による電極幅の管理<RB> (3) マイクロコンピュータを使用した, 多数本のダイヤモンドセンサの同時加工における個別制御方法
の以上の3点が上げられる.
