精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
RFプラズマCVD法によるcBN膜
石黒 孝, 斎藤 秀俊, 一ノ瀬 幸雄
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53 巻 (1987) 10 号 p. 1527-1531

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.53.1527
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