精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
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共有結合性セラミックスのレーザ加工に関する研究 (第3報)
電離蒸気の空間分布と制御
森田 昇荘 志剛渡部 武弘吉田 嘉太郎
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1992 年 58 巻 8 号 p. 1357-1362

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抄録

This paper describes the dynamic behavior of laser-produced ionizing vapor in laser processing the covalent bond-ceramics. The distribution of laser-ionized vapor is determined by the measurements of electrical potential using newly developed small pin-type electric probes. The density of ionized vapor is highest around a laser beam axis above the workpiece. The distribution and motion of ionized vapor is successfully controlled under the external electric field.

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