精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
SEM機能を有する高性能走査トンネル顕微鏡 (STM) の開発
保坂 純男
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58 巻 (1992) 9 号 p. 1490-1495

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.58.1490
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