精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
球面座軸受を用いた高精度三次元トラッキングレーザ干渉計の試作とその評価
中村 収, 後藤 充夫, 豊田 幸司, 高井 望, 黒沢 俊郎
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59 巻 (1993) 10 号 p. 1662-1664

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.59.1662
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