精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
硬質膜の電子・電気機器への応用
黒川 英雄
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59 巻 (1993) 3 号 p. 381-384

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.59.381
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