精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ナノメータスケールの研削・研磨技術
河西 敏雄, 土肥 俊郎
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59 巻 (1993) 4 号 p. 559-562

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.59.559
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