1陰極-3陽極アーク放電プラズマによる大面積ダイヤモンド膜合成装置の試作
1993 年 59 巻 5 号 p. 838-843
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1993 年 59 巻 5 号 p. 838-843
陰極1つに対し陽極を3つ有し, 陰極と陽極間の距離を広げることのできるアーク放電プラズマ装置を試作し, ダイヤモンド合成を試みた.この装置では, ブラズマトーチの配置を変えることで, 陰極と陽極の距離を広げることができ, ブラズマジェヅトの径を拡大することができる.このブラズマジェヅト径の拡大には, 陽極をブラズマジェヅトの中心軸より離すことが有効であり, ブラズマジェヅト径の拡大とともにダイヤモンドの合成面積は拡大する.
