抄録
高安定な大気中用STMシステムを製作し, 測定及びナノメータオーダ加工を試みた結果, 以下のことが明らかとなった.
(1) 十字型に積層型PZTを組み合わせ, マコールを使用したSTMユニットは熱的安定であり, また高剛性であり共振周波数を高くできた.
(2) 漏れ電流の少ないそして超低雑音STM電子回路を設計・製作し, pAのトンネル電流で制御可能システムを製作した.
(3) 上記システムを使用し, 大気中でHOPG原子及び金薄膜上で金原子を観測した.
(4) 上記システムを使用し, 大気中でHOPG及び金薄膜上にSTM探針にパルス電圧を印加し, 加工を試み, ナノメートルオーダの凸状形態の加工が可能であることを示した.
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