精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
NCフィードバックのためのレーザ測長器の開発
吉川 和男田代 発造山田 滋大園 成夫野村 俊神谷 和秀
著者情報
ジャーナル フリー

1994 年 60 巻 2 号 p. 230-234

詳細
抄録

ゼーマンレーザを用いた干渉測長器はAC干渉であるため振動に強く,本研究のようなオンマシン測長には適している.この干渉測長器を工作機械に取り付け,NCへ直接フィードバックできるパルス列を作り出すことができた.パルス幅が従来と異なるが,NCとのマッチングに問題は生じなかった.実験結果では,従来からの方法であるパルスエンコーダの場合,ぱらつきが約8μmだったのに対し,本装置では約3μmであり,約2倍の精度が得られた.ステージの軸と光軸の角度誤差や,送りねじなどによる誤差に関して,NC補正を用いるとほとんどなくすことができた.ただし,空気の屈折率変化に対する対策が必要で,この方法ではエアの吹付けによるランダム雑音中での測長と,NCによる温度補正が適していると考えられる.

著者関連情報
© 社団法人 精密工学会
前の記事 次の記事
feedback
Top