位相シフト型アブラムソン干渉計による粗面測定

抄録

本手法では,アブラムソン干渉計の基準面と測定サンプル面間の媒質の屈折率を変化させることによって位相シフトを行なった.アブラムソン干渉計に位相シフト法を導入することによって,従来の干渉計では計測が難しいような低反射率の粗面測定物体に関して,ミクロンオーダでの表面凹凸形状の計測を可能とした.
現段階においては,本測定法の精度は1μmであるが,基準プリズムの面精度を高めることによって,さらに高い精度での計測が可能となる.