精密工学会誌
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能動自成絞り付き高剛性空気静圧軸受の開発
水本 洋上芳 啓有井 士郎
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1994 年 60 巻 9 号 p. 1325-1329

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抄録

圧電素子を用いた能動型の自成絞りを考案し, 空気静圧スラスト軸受に組み込んで軸受の基本的特性を解析した結果, 次のことが明らかとなった.
(1) 静的負荷変化に対する軸変位を抑制することにより, 60N以下の負荷範囲においてスラスト剛性を無限大にできることを確認した.
(2) 能動自成絞り付き静圧軸受の応答性は, 圧電素子駆動アンプの電流不足のために制限されたが, 100Hz程度であることを確認した.
(3) 能動自成絞りは軸受の回転精度の向上に効果のあることを確認した.
(4) ニューマチックハンマは発生しなかった.
以上により, 提案した能動自成絞りの実用性が明らかになった.今後はラジアル軸受にもこの能動自成絞りを組み込み, エアスピンドルとしての性能向上を図る.

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© 社団法人 精密工学会
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