精密工学会誌
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マイクロシリンダを用いた圧力伝達機構に関する基礎的研究
金 東郁下岡 聡行勇田 敏夫
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1994 年 60 巻 9 号 p. 1330-1334

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抄録

流体を利用するマイクロメカニズムに関する基礎的研究として, サブミリオーダにおける流体力学的特性の検討を行った.
流体力学的特性として, 圧力伝達における損失やマイクロシリンダの圧力に対する応答特性を調べた結果,
(1) 内径が200,400,600μmの毛細管と各種プランジャで構成されたマイクロシリンダで伝達されたシリンダ出力は, 極端な損失はみられない.
(2) 内径が200,400,600μmの毛細管と各種プランジャで構成されたマイクロシリンダのステップ応答は, ζ=0.05以上の場合,
マクロサイズの流体力学方程式でシミュレートできる.
以上のことから, 流体を用いたマイクロ流体圧システムは, 圧力伝達における損失がほとんどなく, 実用の可能性が示唆された.また, マクロサイズにおける流体力学の方程式を用いても, 設計が可能であることを示唆している.

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