ヘテロダイン干渉法による微小角の動的測定

抄録

レーザヘテロダイン干渉法の応用によって, 大きく直線しゅ鋤を行っているリニヤモータの微小変動角を測定した.今回得た結果を以下にまとめる.
(1) ウォラストンプリズム2個を背面対向させた2ビームのレーザヘテロダイン干渉法は, 微小変動角の測定にも適用し得る.
(2) 上記によって1μradの高分解能の測定を可能にした.
(3) 本方法では市販の位相計に周波数低減回路を付加することにより, 変動角の測定範囲のダイナミヅクレンジが大幅に拡大できた.
今後の課題としては,
(a) 2ビームのヘテロダイン干渉計を小形の可搬形式にする,
(b) 遠距離にある物体の姿勢やひずみの観察に適用する,
(c) 測定点の多点化を図る,
(d) 周波数低減比の最適条件を自動選択する機能を付加する, ことなどが考えられる.