静電ウォブルモー夕
1995 年 61 巻 9 号 p. 1231-1234
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1995 年 61 巻 9 号 p. 1231-1234
以上, 今回紹介したように, マイクロアクチュエータを実現するための1つの解決手段として, モータの製作・組立を大幅に簡略化する円筒積層プロセスを提案した.また, このプロセスを用いて直径1.4mmの静電ウォブルモータを試作し, 自転速度およびウォブリング運動の測定によりモータの出力に及ぼす要因を推定することで, マイクロマシン領域での円筒積層プロセスの有用性を確かめることができた.
今後は, 収縮量が少ない均一なステータを構成する材料と形成方法の改善を行い, マイクロデバイスを実現する加工技術として確立を図って行く予定である.
