精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
ほう酸トリメチルをドーピング材料とする半導体ダイヤモンド合成
奥住 文徳, 平田 敦, 吉川 昌範
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1997 年 63 巻 1 号 p. 101-102

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