精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
超音波を利用した非接触搬送技術
橋本 芳樹小池 義和上羽 貞行
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1997 年 63 巻 7 号 p. 947-950

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