精密工学会誌
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櫛歯状マイクロ振動子における連成振動の解析
大澤 孝夫阿部 浩士保坂 寛桑野 博喜板生 清
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1997 年 63 巻 7 号 p. 977-981

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抄録

マイクロ振動子を用いた情報・センシング機器の高速化, 高感度化を目的に, 2本の微小はりにおける, 減衰と振動連成を解析した.はりを球の集合で置き換え, 単一球の周囲流を重ね合わせてはりの空気抵抗を求め, はり寸法が等しい場合の振幅比, 構造減衰を考慮した振幅比, 1本のはりの減衰比を簡便に求める式を導出した.また実験により理論の妥当性を示した.主な結論を以下に示す
(1) 導出した理論式によれば, 1本のはりの減衰比は, はりが小さいほど大きく, これは前報の実験値 (シリコンはり) とよく一致する.
(2) 導出した理論式によれば, 2本のはりにおける振動連成ははり寸法, はり間隔, 内部摩擦が小さいほど大きく, これは拡大実験による結果とよく一致する.
(3) 以上の成果を実際の振動子の設計に適用できるように, シリコンおよびパーマロイはりの振動連成抑圧条件を簡便に求める図を作成した.

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