精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
コンピュータ部品のナノ表面加工技術
今井 晃
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68 巻 (2002) 1 号 p. 27-30

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.68.27
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