精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
マイクロ超音波モータ
春日 政雄, 飯野 朗弘
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68 巻 (2002) 5 号 p. 641-644

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.68.641
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