精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
薄膜金属ガラスアクチュエータ
秦 誠一, 下河辺 明
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68 巻 (2002) 5 号 p. 657-661

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.68.657
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