精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
RF-MEMSの設計・製造技術
神野 伊策, 小寺 秀俊
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70 巻 (2004) 9 号 p. 1146-1149

DOI https://doi.org/10.2493/jjspe.70.1146
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