精密工学会誌
Online ISSN : 1882-675X
Print ISSN : 0912-0289
ISSN-L : 0912-0289
電界共役流体(ECF)とそれを応用したマイクロアクチュエータ
横田 眞一
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2006 年 72 巻 7 号 p. 826-829

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