富山大学工学部機械知能システム工学科
東京タングステン(株)
1997 年 11 巻 4 号 p. 129-135
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半導体チップ等の放熱基板に使われるCu-Mo系複合材料(M/CM)の熱特性として,熱膨張率を横型差動式熱膨張計により室温~850℃,熱拡散率および比熱をレーザーフラッシュ法により室温~600℃の範囲で測定した.試料はCu組成を10~90 mass%に変えて5種類作製し,これらの熱物性値の組成や温度に対する依存性を検討し,理論式との比較を行った.
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