大面積高感度光パワー精密計測器としてのバイメタルMEMS方式カロリメータの検討
2015 年 29 巻 1 号 p. 19-26
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2015 年 29 巻 1 号 p. 19-26
高感度な熱型光検出器としてのバイメタルMEMSカロリメータの実現可能性について検討した．標準的なMEMS製造プロセスで作製できる構造のうち，5mm×5mmに及ぶ大面積のバイメタルセンサについて熱－機械的特性を有限要素法数値計算で評価した．その結果いくつかの設計において，同サイズの従来型熱電モジュール方式熱型光センサと比べて，等価ノイズパワーを一桁以上小さくできることを見出した．試作したセンサを評価した結果もそれを支持するものであった．これにより，高スループットな絶対分光パワー測定につながるものと期待できる．
