日本応用磁気学会誌
Online ISSN : 1880-4004
Print ISSN : 0285-0192
論文
反応性ECRスパッタ法で作製したCo含有酸化鉄薄膜メディアのプラズマ酸化処理効果
山本 節夫平田 京和田 宏文栗巣 普揮松浦 満土井 孝紀田万里 耕作
著者情報
ジャーナル オープンアクセス

2002 年 26 巻 4 号 p. 263-268

詳細
抄録

The post-oxidation effects of reactive-ECR-sputtered Co-containing ferrite thin films are described, focusing on their morphology and their magnetic and recording properties. A combination of reactive-ECR-sputter deposition and post-oxidation with ECR oxygen plasma was proved to be the best method for preparing Co-containing ferrite thin film media with good magnetic properties, smooth surface, low medium-noise characteristics, excellent roll-off curve, and small thermal fluctuation.

著者関連情報
© 2002 (社)日本応用磁気学会
前の記事 次の記事
feedback
Top