情報管理
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技術研究組合 極端紫外線露光システム技術開発機構における情報管理と発信
小川 眞佐志
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2005 年 48 巻 3 号 p. 156-162

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抄録

技術研究組合極端紫外線露光システム技術開発機構(EUVA)は2002年に設立され,2010年から市場へ投入される次世代半導体露光装置に使われるEUV光源と投影光学系の技術開発を推進している。欧米との開発競争のなかで,EUVAは研究開発活動およびEUVAの意義を広く理解してもらうための情報発信,管理を進めている。情報システム構成,内部の電子ファイル管理,ホームページの構成,インターネットによる遠隔会議について紹介するとともに,成果発表,プレスへの広報など広範囲な情報発信活動について述べた。

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© Japan Science and Technology Agency 2005
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