全電子収量法による絶縁体表面の帯電の研究

抄録

絶縁試料である石英に軟X線試料を照射するとチャージアップの効果で電子収量が指数関数的に減衰した。このような振舞いは酸化マグネシウムや酸化アルミニウムでも観測された。石英表面に被せた光照射のためのマスクの穴の大きさを変化させるとその減衰が変化することから試料表面の電気伝導が起因していることがわかった。講演ではそれぞれの結晶の結果と比較しながら、表面の化学状態による帯電効果について考察する。