真空下でのトロイド型微小光共振器の作製と評価II

抄録

トロイド型微小光共振器は、高Q値および微小モード体積を実現する優れた共振器である。トロイド型微小光共振器の表面状態を改善することで、Q値の更なる向上が見込まれる。本研究では、真空下でトロイド型微小光共振器を作製・評価することにより、より高いQ値の実現を図った。